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江刺正喜
宮城県仙台市出身の工学者。MEMSの世界的権威である。現在は東北大学大学院工学研究科教授を務める。2006年には紫綬褒章を受けた。 |
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プロフィール
「未来を創る」にふさわしい建物だった。産業技術総合研究所の臨海副都心センター。全面ガラス張り。壁の中を白い鉄柱が何百本も組まれ、エントランス部分は20メートル以上はある鉄骨が緩やかな曲線を描いている。遠くから見るとまるで巨大な宇宙船のようですらある。 産業技術総合研究所は独立行政法人で、通称「産総研」と呼ばれる。その使命は産総研独自、あるいは大学などと連携して新たな技術を開発し、それを民間企業などに技術移転することで日本の発展を目ざすことである。 後藤研究員は民間企業に勤めたのち、2004年1月から産総研に勤務。ここで研究しているのがナノインプリントである。 「私はずっと微細加工装置の研究をしていました。その中で一時期携わっていたのが電子線描画装置です」 半導体回路などの微細パターンをつくる場合、一般的には「光露光法」と呼ばれる露光装置を使う。レジストと呼ばれる感光剤を塗 ... もっと見る
「未来を創る」にふさわしい建物だった。産業技術総合研究所の臨海副都心センター。全面ガラス張り。壁の中を白い鉄柱が何百本も組まれ、エントランス部分は20メートル以上はある鉄骨が緩やかな曲線を描いている。遠くから見るとまるで巨大な宇宙船のようですらある。 産業技術総合研究所は独立行政法人で、通称「産総研」と呼ばれる。その使命は産総研独自、あるいは大学などと連携して新たな技術を開発し、それを民間企業などに技術移転することで日本の発展を目ざすことである。 後藤研究員は民間企業に勤めたのち、2004年1月から産総研に勤務。ここで研究しているのがナノインプリントである。 「私はずっと微細加工装置の研究をしていました。その中で一時期携わっていたのが電子線描画装置です」 半導体回路などの微細パターンをつくる場合、一般的には「光露光法」と呼ばれる露光装置を使う。レジストと呼ばれる感光剤を塗ったシリコン基板に、フォトマスクを介して光を当てることで形をつくっていくというものだ。しかし光露光法は主に光の波長によって最小線幅が制限されてしまうため、より微細なものをつくりたい場合どうしても限界があった。そこで登場したのが電子線描画装置である。 「電子線は光と比べると波長が非常に短いので、光露光と比べると圧倒的に微細なものをつくることができる。それこそ、数10ナノメートルレベルのものを作り出すことができるようになったのです」 だが、その電子線にも欠点があった。そこで、後藤研究員が目をつけたのがナノインプリントだったのである。 戻る
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